Infrastructuur

De zonnecel onderzoeksgroep van de Radboud Universiteit Nijmegen beschikt voor haar onderzoek over state-of-the-art clean rooms met alle benodigde depositie en processing apparatuur. Daarnaast is alle benodigde karakterisatie apparatuur voor handen binnen de groep of toegankelijk via andere afdelingen van de RU-Nijmegen

• Depositie van III-V materialen en III-Nitrides
  3 reactoren voor Metal Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD)
  2 reactoren voor Hydride Vapour Phase Epitaxy (HVPE)
• Device (zonnecel) processing
  Opdamp- (e-gun) en sputterdepositie apparatuur
  Mask aligner en overige fotolithografie apparatuur
  Voorzieningen voor nat chemische etsprocessen
  Reactive Ion Etching (RIE)
  Opstellingen voor Epitaxiaal Lift-Off processen
• Karakterisatie
  Oppervlakte analyse technieken (SEM, AFM, DICM, optische profiler)
  Structuuranalyse via Röntgen diffractie apparatuur en cathodeluminescentie
  Elektische meettechnieken (Hall en C-V metingen)
  Optische meettechnieken (fotoluminescentie, elipsometrie, transmissie spectroscopie)
  Specifieke zonnecel analyse technieken (I-V metingen en spectrale respons) voor single-junctie cellen en multi-junctie cellen en concentrators